辉煌网址:开启了探索集成电路奥秘的窗口

30多年来，集成电路技术带动了整个电子信息产业的发展。以集成电路为核心的电子信息产业已经超越了以汽车、石油、钢铁为代表的传统产业，成为世界第一大产业。在未来二十年，集成电路技术将继续向纳米方向发展，仍然是信息技术发展的关键。为打赢关键核心技术之战，中国电子围绕离子注入器、CMP等核心IC设备，着力打造IC设备原创技术源头和现代产业链长度。

今天，中国集成电路领域的发展情况如何?中国电子科学研究团队做了哪些努力?集成电路应走怎样的发展道路?与中国电子首席科学家王志跃的对话，辉煌网址,开启了探索集成电路奥秘的窗口。

记者:薯条被称为现代社会的“工业食品”。是什么让一个小芯片如此神奇?能否结合您的研究方向简单介绍一下?

王志跃:在我们的生活中，从电视遥控器，到手机、电视，只要是自动化的电子设备，芯片都会用到。未来，人工智能、智能汽车、物联网等美好生活场景，都离不开芯片。要把随处可见的沙子变成手机、电脑中运算能力超强的芯片，我们依靠的是以光石为代表的高端电子制造设备、离子注入机清洗。

王志跃:中国电子以国家战略需求和产业升级需求为导向，在高端IC电子制造核心装备自主创新上不断发力。中国电子成立IC装备核心技术发展研究中心，突破IC装备自主创新瓶颈。聚焦离子注入机设备实现了中束、大束、高能、特种等系列产品的自主创新开发，工艺节点覆盖14nm。累计销售100余台，实现全系列产品国产化，全力支撑集成电路设备的先进产业基础。以化工机械抛光(CMP)设备为重点，国内200mmCMP市场占有率已达70%以上，300mmCMP设备已通过主流生产线工艺验证，关键指标满足28nm工艺技术要求，自主供货能力稳步提升。